中国传感谷内企业生产场景。（资料图片）
安徽海车神驭无人装备科技有限公司生产现场。本报记者 孙言梅 摄
位于蚌埠市高新区的智能制造产业园项目，目前1—4号厂房已基本完成，处于全面收尾阶段。秦奋 摄
一部5G手机内置的MEMS（微机电系统）数量已超过20颗，主打“智能化”的新能源车，MEMS的数量更是高达上百颗。如果把集成电路芯片比喻成“大脑”，传感器就是智能设备感知世界的“五官”，应用场景无处不在。
随着2021年我省首次提出打造“中国传感谷”、加速推进传感器产业发展，蚌埠智能传感产业初露峥嵘。近年来，该市聚焦聚力智能传感产业，以晶圆加工能力为核心竞争力，吸引下游企业入驻，推动智能传感器产业软硬协同、集聚发展，着力打造自主可控芯体最多、种类最全、产值超千亿的智能传感产业集群。
破题缺“芯” 蚌埠MEMS晶圆上线
近日，记者走进位于蚌埠经开区的中国传感谷核心企业——安徽华鑫微纳集成电路有限公司，数十张办公桌整齐、细密地排布在大厅里，几十名工作人员紧盯电脑。
“企业的大量设备正在进场，设备供应商在和我们的工程师、专家核对工程与设备细节。”华鑫微纳业务发展部部长徐海涛介绍，企业的194台套设备，到本月底将有80%进场。计划于明年4月完成串线，6月试产，三季度量产，四季度达产。
该企业的时间表、任务量和工程进度，不仅事关园区周边企业，还牵动了长三角传感产业格局，更影响着国内MEMS芯片产业生态。
“数据显示，去年全球8英寸MEMS晶圆供货量达到400万片，国内消耗近200万片，而去年国内产能约9万片。”徐海涛对记者说，华鑫微纳达产后预计月产8英寸晶圆1万片，到2027年将达到月产3万片。
MEMS芯片是MEMS传感器中技术和价值含量最高的部分，其与大众熟知的集成电路芯片如CPU、GPU等有很多相似处，都追求在微观尺度内，以半导体材料为衬底，单片制成晶圆后切割成多片芯片。在晶圆制造过程中所进行的光刻、薄膜沉积、刻蚀、掺杂等单项工艺也大体一致。
蚌埠经开区管委会副主任董思敏介绍，华鑫微纳将是蚌埠智能传感器产业的制造基础，助力解决国内MEMS芯片“卡脖子”问题。作为国内领先的8英寸MEMS智能传感器晶圆代工企业，华鑫微纳将对外提供开放式、定制化MEMS晶圆代工服务。这意味着，智能传感器的核心部件，繁复多样的MEMS芯片将在蚌埠生产，向我省乃至全国的智能传感器企业供货，为整个产业链安全提供有力支撑。
集聚成势 迸发发展强动能
12月19日，中国传感谷内，安徽海车神驭无人装备科技有限公司的工作人员正在进行无人巡逻车的测试工作。“这是我们的主打产品之一，通过激光雷达传感器、摄像头等装置精准感知周围环境，监测安全状况，目前已在社区、医院、学校等领域广泛应用。”公司相关负责人周永健说。
海车神驭是上海海神机器人科技有限公司在蚌埠投建的智能制造基地，也是中国传感谷C区首批入驻并投产的企业。除了无人巡逻车，该企业还生产无人快递车、无人清扫车等，产品的核心竞争力在于算法、控制器和传感器等软硬件。
“蚌埠是全国三大传感器基地之一，也是安徽唯一、全国不多的同时拥有集成电路和MEMS晶圆生产线的城市，聚集众多传感器领域上下游企业，因此企业选择落户在此。今年4月投产，10月就入规了。”周永健说。
企业的高质量发展，离不开政府支持。今年初，海车神驭进入试生产阶段，因生产技术要求较高，企业面临一线技工短缺的难题。蚌埠经开区走访了解情况后，及时组织开展招聘活动，积极对接本地职业院校，招聘20多名工人进厂，确保了企业试生产的正常进行。
“在蚌埠经开区相关部门的持续帮助下，目前车间已有70多名工人，保障了5条生产线正常运转，今年将完成产值3000万元。明年我们会进一步扩大产能，开拓更广阔的发展空间。”周永健说。
目前，蚌埠市已培育北方微电子、芯动联科、希磁科技、有家硅光、依爱消防、双环电子等一批行业领军企业。随着一个个企业加快集聚，蚌埠智能传感产业集群乘风而起。数据显示，全市智能传感产业相关企业已有200余家，经济规模总量超百亿元。
服务升级 持续优化产业生态
传感器产业产品品种多、企业规模小、应用领域分散、制造工艺复杂。蚌埠为何将其确定为重点打造的六大产业集群之一？
有行业研究数据显示，消费电子产品的传感化、自动驾驶、工业4.0和人工智能的兴起，导致全球未来长期大量的MEMS器件需求。预计2029年，全球MEMS晶圆产量将增长到500万片。
蚌埠的目标，是切分传感器产业中未来需求旺盛、技术门槛高、利润丰厚的智能传感器市场。“已经形成了多条细分赛道，各有龙头企业牵引。”董思敏介绍，以芯动联科为代表的惯性传感器主要应用于消费电子，以希磁科技为代表的磁电流传感器装备在新能源汽车等电控场景。
蚌埠市还成立智能传感产业专班，由市领导牵头调度，定期协调解决园区建设发展中的各类问题。为了应对智能传感企业相对规模小、投入不足，目前已落地运行总规模约26亿元的4只基金，引育汇电能源等10余个项目落地，目前正陆续组建总规模约20亿元的5只基金。
为了解决企业生产的共性需求，蚌埠经开区创新性地由园区代建包括表面处理中心、大宗气站等，企业“拎包入住”即可共享这些生产服务。园区还建成微电子机械系统（MEMS）国家地方联合工程实验室等近20个创新平台，其中省级以上创新平台9个，与大院大所、著名高校广泛合作，为园区企业提供全方位的科研技术支撑。
蚌埠智能传感产业从北方微电子研究院一条6英寸MEMS中试线出发，筚路蓝缕、久久为功，沿着“一个科研院所带动一个产业发展”的思路一路走来，目前已成为自主可控芯体最多、传感器种类最全，集研发设计、晶圆制造、封装测试、终端应用为一体的全产业链聚集区。
来源：安徽日报
记者：强飞 孙言梅
编辑：王嵌
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